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| 硅碳棒评价方法的适用范围使用原则和评价流程 |
根据硅碳棒评价方法的适用范围、使用原则和评价流程，以硅碳棒多线线锯工艺为评价对象，按照绿色制造目标属性质量、成本、时间、资源、能源、环境和社会因素包含的内容，首先分析了采用层次分析法(AHP)和嫡值法确定评价指标各项权重系数的确定方法。然后采用基于层次分析法和模糊综合评判法的组合评价方法，以QES(质量、环境和社会因素)为工艺评价目标，对型号JK-XJ-02D 1-JK-XJ-02D5硅片的线锯工艺过程进行了综合评价，结果显示硅片型号为JK-XJ-02D3的线锯工艺评价最好，评价值为0.7135。另外，采用基于嫡值法和理想点法的组合评价方法，以(QTCRNES，质量、时间、成本、资源、能源、环境和社会因素)为工艺评价目标，对型号JKEDW-156-1#一JKEDW-156-9#硅片的线锯工艺过程进行了综合评价，结果显示硅片型号为JKEDW-156-4#的线锯工艺评价最好，评价值为0.7222。
在多线线锯设备和金刚石线等工艺要素相同的情况，为了从理论上证明硅碳棒多线线锯工艺过程及绿色工艺评价受关键工艺参数影响，论文建立了固结金刚石颗粒多线线锯硅碳棒的力学模型，经分析模型认为金刚石磨粒均匀分布在钢线表面，形状近似圆锥体。结果证明硅碳棒多线线锯时锯切过程(力)与钢线走线速度代·工件进给速度气·线锯半径R及光伏硅碳棒长度L等因素相关。
借鉴国内外同类多线线锯设备的技术参数，结合自主开发JKEDM-500多线线锯设备的特点，分析得到多线线锯关键工艺参数一一钢线张力、钢线走线速度和硅碳棒进给速度的取值范围。利用田口实验分析法几5(56Lzs5)的设计进行正交试验，得到17组在不同多线线锯关键工艺参数组合下对应的绿色工艺评价值，其中最大绿色工艺评价值及其对应的关键工艺参数即为试验中的最好结果。由于试验方案次数有限，关键工艺参数为离散数据，为了求解在关键工艺参数钢线张力F,钢线走线速度VS和硅碳棒进给速度VW连续取值范围内的绿色工艺评价最大值，因此建立多元非线性方程拟合绿色工艺评价值与关键工艺参数之间的关系，经方差检验和一致性分析，得到最佳拟合函数。通过Design-Expert 12进行多元非线性方程求最优解，即可在硅碳棒多线线锯关键工艺参数连续取值范围内获绿色工艺评价最大值及对应的工艺参数。结果证明:采用JKEDM-500多线线锯设备对156 X 156 X 500多晶硅碳棒进行多线线锯，当钢线张力为28.521 N、钢线走线速度为1072.615 m/min、硅碳棒进给速度为1.028 mm/min时，该线锯工艺“绿色度”最好，评价值为0.802。采用Design-Expert 12对绿色工艺评价值与关键线锯关键工艺参数进行了数据拟合，对拟合曲面进行研究，分析了单一关键工艺参数和双重关键工艺参数组合对硅碳棒多线线锯绿色工艺评价的影响。www.sdzygw.com |
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