在分析游离砂浆多线线锯和固结金刚石颗粒多线线锯工艺流程的基础上，结合硅碳棒多线线锯的工艺评价目标属性和绿色制造决策模型，建立了面绿色制造目标的硅碳棒多线线锯工艺评价体系，并确定了绿色工艺评价指标。
  以硅碳棒多线线锯工艺过程为评价目标，对评价数据采用定向指标定量化、同趋化和标准化处理，采用嫡值法和TOPSIS相结合的组合评价法对硅碳棒多线线锯工艺进行绿色评价，通过对绿色工艺评价值进行排序，求解“绿色度”最好的评价值及对应关键工艺参数。
  建立了固结金刚石颗粒多线线锯硅碳棒的力学模型，从理论上证明了影响硅碳棒多线线锯过程的主要工艺参数，在已有试验数据的基础上对硅碳棒多线线锯绿色工艺评价值与关键工艺参数的关系进行多元非线性拟合，从而在关键工艺参数连续取值区间内求解得到硅碳棒多线线锯绿色工艺最优解。
  论文以硅碳棒多线线锯工艺过程为研究对象，对建立硅碳棒多线线锯工艺评价体系、确定绿色工艺评价指标、选择评价方法、建立线锯工艺过程力学模型、拟合多元非线性方程、运用响应曲面法求解硅碳棒多线线锯绿色工艺评价最优解对硅碳棒多线线锯工艺过程绿色制造评价及工艺参数优化进行了系统的分析和研究。由于试验条件的限制以及COVID-19疫情的影响，仍存在大量的工作值得深入探讨，主要包括以下4个方面:
  评价体系和评价指标的完整性和科学性。面向绿色制造目标的硅碳棒多线线锯工艺主要从质量、成本、时间、资源、能源、环境和社会属性建立评价体系，它们之间相互独立，也有交叉和祸合的地方，如硅片质量等级越高，对应成本越大，它们如何确定边界，在哪种属性体现，各占多大比例都是值得研究和探讨的课题。此外，评价指标不同于评价体系，指标是反映评价体系特征的重要因素，它们不能重复，方便统计和计算。评价指标是否合理，将直接影响评价到评价结果是否科学。
  综合评价方法的合理性及适用范围。综合评价方法有层次分析法、灰色综合评价法、网络层次分析法、模糊综合评判法或它们之间的组合评价等，评价方法的不同会影响硅碳棒多线线锯工艺最后的绿色评价值。想要得到最合理的评价值，需要对大量的数据进行分析和比较，从而选择最适合硅碳棒多线线锯工艺的评价方法。www.sdzygw.com