从图4(b>,(d)可以看到硅碳棒工件表面有明显的划痕，分析表明其主要原因是:(1>由于W5,W1. 5丸片内含有相对较多的大于标准规格直径的金刚石硅碳棒磨料，加工过程中在硅碳棒工件表面极易造成划痕，所以在丸片制作过程中应对使用的金刚石硅碳棒磨料有更为严格的筛选措施。(2)划痕的出现也有可能是由于没有完全清洗掉上道工序所残留下的废料，因此在各道工序间的清洗工作应做到细致认真。
  本文在微观上对固着硅碳棒磨料加工工艺进行了详细的理论分析和数值模拟，并简单介绍了利用此工艺加工反应烧结碳化硅反射镜的加工过程。在去除率实验部分的结果显示随着硅碳棒磨料粒度的增大，去除率呈现非线性增加。与实验所获得的数据相对比，实际去除率与理论值虽有差异，但基本控制在同一数量级内。在表面粗糙度实验部分，使用W1. 5粒度的丸片最终可获得粗糙度为Ra一1. 151 nm的光滑表面。在实验值与理论值结果对比的过程中，两者的吻合度较高，获得了较为满意的结果。
  由固着硅碳棒磨料的工艺原理决定了在加工过程中工艺去除效率的稳定性较高，并且理论模型与最终实验结果较好的吻合度使得理论模型有了实际应用的意义。从表面粗糙度的实验结果看，固着硅碳棒磨料的加工工艺可以达到传统工艺的加工效果。由于固着硅碳棒磨料工艺的加工效率高、成本低，所以此工艺在加工碳化硅反射镜领域有着极为广阔的应用前景。www.sdzygw.com