网站首页 公司简介 新闻中心 产品展示 企业文化 联系我们

A、玻璃行业专用碳化硅电热元件
B、玻璃纤维坩埚炉专用硅碳棒
C、氮化硅烧结炉专用碳化硅电热元件
D、通用型碳化硅电热元件
E、抗腐蚀粗端部硅碳棒

  电话:0533-8179050
  传真:0533-6588997
  手机:13869320298
  网址:www.sdzygw.com
  地址:淄博市周村区周隆路6699号(309国道北北旺路段)
 
  
      新闻中心 网站首页 >> 公司新闻
 
硅碳棒表面温度和电气结构的问题
  针对硅碳棒表面温度和电气结构的问题,提出了一种改进无模型自适应在线控制方法;首先建立了硅碳棒表面温度与电流的双闭环控制系统模型;然后利用误差变化率与控制变化率为性能指标,用伪雅克比在等价数据点处等价线性化,对性能指标函数极小化,求得无模型控制器;仿真结果表明了该控制方法增大控制输人差值周期,能保证温度控制系统稳定性,又能提高系统对于温度控制的控制精度和动态性能。
  还原炉中,多晶硅生产需要经过预加热过程、持续加热过程和恒温加热过程,而其中最重要的一个环节就是恒温加热过程,硅碳棒表面温度需要维持在1000℃-1080℃,目前文献针对多晶硅还原炉内三氯氢硅氢还原过程问题,建立三氯氢硅的三维模型,利用CFD软件对炉内的传热、流动和化学反应三个过程进行了仿真分析,分析了沉积特性随氢气摩尔分数,硅碳棒高度和硅碳棒直径变化的规律;为了能得到更好的数据驱动的还原炉能耗预测模型,提出了多晶硅化学气相沉积的传递动力学模型,氢气浓度限制和TCS浓度限制的边界条件;通过改进的LSTM神经网络能耗预测模型,Adam算法训练神经网络模型中的权值,引入Adaboost提升算法不断调节模型的权重,构建预测模型实现还原工序的能耗预测,结果表明取得良好的效果气针对多晶硅生产过程中的表面温度与电流发生变化,并且它们存在时滞、强藕合作用和非线性特性,提出了以无模型自适应模糊控制器的方法。针对硅碳棒表面温度建模困难且难以控制的问题,本文提出了构建系统的双闭环控制系统模型,采用改进无模型自适应控制方案进行控制。http://www.sdzygw.com/
上一篇:改善硅碳棒内部温度的均匀性         下一篇:国内传统半导体硅碳棒加工设备存在的问题
 
 
网站首页 | 公司简介 | 新闻中心 | 产品展示 | 企业文化 | 联系我们 | sml地图 |

友情链接:硅碳棒 硅碳棒厂家 桥梁模板 桥梁模板租赁 蜗轮蜗杆 山东橡胶制品厂家 农林保水剂 导热硅胶片 仓储笼 防水套管 氟塑料泵 玻璃工艺品 ir孔透过率测试仪

版权所有:淄博群强电热元件有限公司 电话:0533-8179050 传真:0533-6588997 手机:13869320298 网址: www.sdzygw.com 地址:淄博市周村区周隆路6699号(309国道北北旺路段)鲁ICP备11003558号